硅片甩干機用于清洗太陽能硅片和半導(dǎo)體硅片，是濕法清洗工藝的主要設(shè)備，目前主要機型由四工位，六工位和八工位系列。主要工作過程為噴淋旋轉(zhuǎn)沖洗+離心甩干+氮氣加熱烘干，工作特點如下：
1、硅片甩干機整個甩干過程一般只需要5-6分鐘；
2、設(shè)備的外露面為進口的PP板，外形美觀，耐酸氣腐蝕；
3、工作腔，旋轉(zhuǎn)支架和裝片盒等主要部件采用耐腐蝕不銹鋼，并且表面電化學(xué)拋光處理；
4、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)經(jīng)過精密動平衡處理，保證工作時的平衡性；
5、采用特種減震器，精密減震和阻尼，保證系統(tǒng)的穩(wěn)定；
6、硅片甩干機采用潔凈化處理技術(shù)，閥門，接頭和管道采用不銹鋼，PEA高純管件和聚四氟；
7、采用油壓缸自動開門關(guān)門，平穩(wěn)安全可靠；
8、采用油浴爐或氣體加熱器加熱氮氣，熱量足，溫度穩(wěn)定，加熱溫度實時監(jiān)控，并顯示在液晶屏上，并有雙重安全保護；
9、特制噴頭和氣液流體控制系統(tǒng)，全自動切換；
10、頂蓋采用電加熱板輔助加熱，保證頂蓋烘干后不滴水；
11、硅片甩干機的工作腔采用靜電控制。
